流量控制器
怎樣進行不同氣體的質量流量換算?
產品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規格。用同一規格的MFM/MFC測量不同的氣體,當流量檢測值相同時,電磁流量計多少錢,實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體(氮氣)的質量流量轉換系數。
如果您使用的產品是標準出廠產品(按氮氣標定顯示),而需要知道實際使用氣體的質量流量時,電磁流量計公司,先在產品說明書中找到實際使用氣體的轉換系數。在測量過程中,電磁流量計報價,以此系數乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質量流量;反之,在確定所購產品的量程時,以實際使用氣體的期望流量值除以轉換系數,即是相應的氮氣標定產品的流量值。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體,其轉換系數約為1.0 , 一般可直接用按氮氣標定顯示的產品,不必換算。
流量控制器的原理是什么?
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器的剖面結構圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。氣體質量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
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質量流量計,即Mass Flow Meter(縮寫為MFM), 是一種準確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。
質量流量控制器, 即Mass Flow Controller(縮寫為MFC), 不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,貴州電磁流量計,即使系統壓力有波動或環境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。簡單地說,質量流量控制器就是一個穩流裝置, 是一個可以手動設定或與計算機聯接自動控制的氣體穩流裝置。
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